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金融界2024年10月22日音讯,国度常识产权局信息默契,纳好意思半导体确立(广州)有限公司央求一项名为“一种晶圆位置检测校对安装”的专利,公开号CN 118763020 A,央求日历为2024年6月。
专利提要默契,本发明属于晶圆加工时刻畛域,极度波及一种晶圆位置检测校对安装,包括底座、方形板、晶圆、抵板以及畅达块,所述底座的一侧固定畅达有支架,所述支架的尖端固定畅达有检测安装,所述方形板的尖端滑动畅达有横移块,所述横移块的一侧固定畅达有挪动块,所述挪动块的内壁尖端固定畅达有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端固定畅达有加工台,所述方形板的尖端建设有挪动安装,通过挪动安装大要让加工台以及导料块调理位置,所述导料块的一侧建设有动弹安装,通过动弹安装大要使得晶圆自动滑落到存放盘内;本发明通过建设有动弹安装,有益于对存放盘内的晶圆自动补充并管理了晶圆会滑落的问题。
本文源自:金融界
作家:谍报员
